鉬微孔片
雷射微鑽孔、濾光裝置、光學變換裝置、小孔、迷你孔、電子顯微鏡耗材、電子束關鍵零組件、電子束微孔片、電子束檢驗、E-beam、eBeam
京碼於 50 ㎛ 厚度的鉬片上進行雷射微鑽孔。
摩爾定律在接下來二十年的演進有兩大趨勢,第一是光刻密度持續縮放,在檢測與量測上對解析度的要求更高。第二是 2.5 及 3D 縮放之使用漸增,在檢測與量測上對高縱橫比/深寬比之要求更高。在操作上,電子槍射出電子束,陽極加促電子束,聚焦鏡校準電子束,物鏡將光束聚焦於樣本上,缺陷掃描線圈光柵將聚焦的電子束於樣本上掃描,偵測器從樣本上蒐集發散出來的訊號,影像顯示系統將訊號及掃描的位置同步,以產生影像。
電子束可用於:量測、電壓對比缺陷檢測、及物理缺陷檢測。電子束檢測本為高解析度,高捕捉率,能持續地維持平穩表現。晶圓的缺陷必須被找出來並根除,電子束檢測能挖掘出光學檢測系統無法偵測之缺陷,對提高裸晶之良率極為重要。電子束能於廣泛的衝擊能量(landing energy)範圍裡,以高解析度來檢測晶圓表面及隱於 3D 立體結構裡之物理缺陷。電子束電壓對比檢測唯一能檢測出電壓缺陷之可行方法。
在電子束檢測系統裡,電子束於產生後,會撞擊到裸晶表面。電子束散佈於裸晶表面,反彈回偵測器,使其偵測到缺陷。相對於光學檢測,電子束檢測的敏感程度更高,能偵測到光學檢測無法發掘的缺陷。電子束系統產生兩種電子,次級電子或反向散射(backscattered)電子,來偵測缺陷。次級電子為低能量電子,從樣本上反彈回來,提供表面資訊。反向散射電子則深深地滲透進樣本。系統需求包含:(1)高真空,讓電子無障礙地行旅;(2)高電壓/伏特數:從來源處吸引電子,並加速其行旅。
京碼 鉬微孔片服務簡介
京碼股份有限公司是台灣一家擁有超過27年經驗的專業鉬微孔片生產製造服務商。 我們成立於西元2006年, 在精密機械工業領域上, 京碼提供專業高品質的鉬微孔片製造服務, 京碼 總是可以達成客戶各種品質要求。