薄膜激光雷射微蝕刻設備
奈米級厚度膜材之微蝕刻、機能性材料之微蝕刻、功能性材料之微蝕刻
此薄膜雷射微蝕刻設備運用冷加工雷射來將導電薄膜材料進行圖案成型,良率 高。進行雷射精密加工時,任何震動或接線不準皆會造成不良品而失敗。本機之專利技術將產品之加工面吸附在高平面度來進行準確焦距,以高穩定度在薄膜上進行雷射微蝕刻,使得雷射能量均勻地於產品表面微蝕刻,避免後續修補困難或導致低良率,此設備是於薄膜材料形成圖案,以製成感測器基板之雷射微蝕刻技術產品。
京碼整合特製高平面之高精密運動平台控制模組與雷射光學聚焦系統,在 2D 精度運動下進行高穩定能量密度之雷射加工,創造雷射微蝕刻薄膜技術量產的高穩定性與高良率產出。
產品特性
- 高平面度及能量穩定加工模式之雷射微蝕刻系統。
- 大面積高平面度設計 <+/-20 µm。
- 真空吸塵配合。
- 雷射光學聚焦與加工面之準直設計。
產品應用
- 奈米級薄膜線路之圖案成型技術
- 雷射蝕刻線寬 < 6 µm 於薄膜 < 200 nm
- 雷射線條準直度 <+/-2 µm
- 根據客戶需求,雷射轉彎R角<3um
- 雷射定位精度<+/-5um at 850x650mm
- 雷射源包含:1030-1070、515-532、343-355、257-258nm
- 影片
京碼 薄膜激光雷射微蝕刻設備服務簡介
京碼股份有限公司是台灣一家擁有超過27年經驗的專業薄膜激光雷射微蝕刻設備生產製造服務商。 我們成立於西元2006年, 在精密機械工業領域上, 京碼提供專業高品質的薄膜激光雷射微蝕刻設備製造服務, 京碼 總是可以達成客戶各種品質要求。
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