薄膜激光雷射微蚀刻设备
奈米级厚度膜材之微蚀刻、机能性材料之微蚀刻、功能性材料之微蚀刻
此薄膜雷射微蚀刻设备运用冷加工雷射来将导电薄膜材料进行图案成型,良率高。进行雷射精密加工时,任何震动或接线不准皆会造成不良品而失败。本机之专利技术将产品之加工面吸附在高平面度来进行准确焦距,以高稳定度在薄膜上进行雷射微蚀刻,使得雷射能量均匀地于产品表面微蚀刻,避免后续修补困难或导致低良率,此设备是于薄膜材料形成图案,以制成感测器基板之雷射微蚀刻技术产品。
京碼整合特制高平面之高精密运动平台控制模组与雷射光学聚焦系统,在2D 精度运动下进行高稳定能量密度之雷射加工,创造雷射微蚀刻薄膜技术量产的高稳定性与高良率产出。
产品特性
- 高平面度及能量稳定加工模式之雷射微蚀刻系统。
- 大面积高平面度设计<+/-20 µm。
- 真空吸尘配合。
- 雷射光学聚焦与加工面之准直设计。
产品应用
- 奈米级薄膜线路之图案成型技术
- 雷射蚀刻线宽< 6 µm 于薄膜< 200 nm
- 雷射线条准直度<+/-2 µm
- 根据客户需求,雷射转弯R角<3um
- 雷射定位精度<+/-5um at 850x650mm
- 雷射源包含:1030-1070、515-532、343-355、257-258nm
- 视频
京碼薄膜激光雷射微蚀刻设备服务简介
京碼股份有限公司是台湾一家拥有超过27年经验的专业薄膜激光雷射微蚀刻设备生产制造服务商。 我们成立于西元2006年, 在精密机械工业领域上,京碼提供专业高品质的薄膜激光雷射微蚀刻设备制造服务,京碼总是可以达成客户各种品质要求。
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