小尺寸晶圓成形
晶圓切割、芯片切割、晶圓微切割、晶圓製造、雷射微切割
晶圓被切割後,表面需保持潔淨無塵,因此在切割時需注意防塵或進行除塵。針對此特殊需求,京碼推出專利倒掛機台,結合雷射保護膜及倒掛機台,來進行重力除塵加工,使產品切割裂片後無落塵產生,能以高良率製程產出。
傳統晶圓切割採用旋轉刀具,製程雖簡易方便,但易有噴濺嚴重、溝道較寬等缺點,且會產生應力。雷射內切割能減少噴濺,且溝道較小,目前已有許多工廠採用雷射方案來切割晶圓。京碼採用雷射切割倒掛專利,整合多層聚焦切割、表面溝槽划線切割,利用地心引力與大功率吸塵,來將碎屑帶走而不傷表面,有效降低成本,簡化前後製程。此技術可應用於LED晶圓切割、矽晶圓切割、碳化矽晶圓切割、玻璃晶圓切割、微機電晶圓切割等。
晶圓雷射微切割
以雷射切割半導體晶圓的優點是切割道小,降低損耗,搭配內切方案可以降低粉塵問題。京碼能因應新型MiniFab工廠之製程需求,根據尺寸及型狀切割成製程加工所需之大小,本案是切割成半吋晶圓大小。
產品特性
- 雷射切割尺寸及圖案之彈性高。
- 選配無塵切割。
- 切割精度高。
- 調整修改製程迅速。
產品應用
- MiniFab 晶圓。
- Si基機構元件。
- 晶圓製程相關構件。
京碼 小尺寸晶圓成形服務簡介
京碼股份有限公司是台灣一家擁有超過27年經驗的專業小尺寸晶圓成形生產製造服務商。 我們成立於西元2006年, 在精密機械工業領域上, 京碼提供專業高品質的小尺寸晶圓成形製造服務, 京碼 總是可以達成客戶各種品質要求。
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