小尺寸晶圆成形
晶圆切割、芯片切割、晶圆微切割、晶圆制造、雷射微切割
晶圆被切割后,表面需保持洁净无尘,因此在切割时需注意防尘或进行除尘。针对此特殊需求,京碼推出专利倒挂机台,结合雷射保护膜及倒挂机台,来进行重力除尘加工,使产品切割裂片后无落尘产生,能以高良率制程产出。
传统晶圆切割采用旋转刀具,制程虽简易方便,但易有喷溅严重、沟道较宽等缺点,且会产生应力。雷射内切割能减少喷溅,且沟道较小,目前已有许多工厂采用雷射方案来切割晶圆。京碼采用雷射切割倒挂专利,整合多层聚焦切割、表面沟槽划线切割,利用地心引力与大功率吸尘,来将碎屑带走而不伤表面,有效降低成本,简化前后制程。此技术可应用于LED晶圆切割、矽晶圆切割、碳化矽晶圆切割、玻璃晶圆切割、微机电晶圆切割等。
晶圆雷射微切割
以雷射切割半导体晶圆的优点是切割道小,降低损耗,搭配内切方案可以降低粉尘问题。京碼能因应新型MiniFab工厂之制程需求,根据尺寸及型状切割成制程加工所需之大小,本案是切割成半吋晶圆大小。
产品特性
- 雷射切割尺寸及图案之弹性高。
- 选配无尘切割。
- 切割精度高。
- 调整修改制程迅速。
产品应用
- MiniFab 晶圆。
- Si基机构元件。
- 晶圆制程相关构件。
京碼小尺寸晶圆成形服务简介
京碼股份有限公司是台湾一家拥有超过27年经验的专业小尺寸晶圆成形生产制造服务商。 我们成立于西元2006年, 在精密机械工业领域上,京碼提供专业高品质的小尺寸晶圆成形制造服务,京碼总是可以达成客户各种品质要求。
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